ダイシング加工
加工スペック一覧(加工実績)
ウエハ厚み | チップサイズ(MIN) | |
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4インチ | 100μm~ | □ 0.400mm |
5インチ | 100μm~ | □ 0.400mm |
6インチ | 100μm~ | □ 0.400mm |
8インチ | 100μm~ | □ 0.400mm |
※ダイシング加工のみであれば、それ以下のサイズも対応可能です。
加工可能な形状
多様な加工にも対応致します。
長尺品
加工可能サイズ | |
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短辺Y | 0.250mm~0.500mm |
長辺X | 18.000mm~29.000mm |
極小品
加工可能サイズ | |
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一辺 | 0.400mm~ |
多角形
6角形
8角形
加工可能サイズ | |
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対辺 | 2.500mm |
ワークサイズにより、それ以下の加工サイズも可能です。
多段加工
シングルカット
ステップカット
べベルカット
加工可能な素材
- ガラス
- ガラエポ
- セラミック
その他の素材に関しても対応いたしますので、ご相談ください。
※化合物製品(GaAs)に関しては、環境面(排水)の問題で対応できませんのでご了承ください。
純水
お客様からお預かりしている製品を加工する際は純水を使用し、静電破壊・不純物による汚染を防止しています。
主な用途
- 各ダイサーの洗浄水
- スピンドル冷却水
- ウェハー洗浄水
比抵抗規格値
1.0±0.2MΩ(0.8~1.2MΩ)
※その他、「環境への取り組み」の一環として純水のリサイクルを行っております。
装置一覧
装置名 | 製品対応サイズ | リングサイズ | 台数 | 備考 |
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DFD-651 | ~8インチ | 6~8インチ | 4台 | 界面活性剤使用可能 |
DFD-651 | ~8インチ | 6~8インチ | 2台 | |
DFD-6340 | ~8インチ | 6~8インチ | 1台 | 界面活性剤使用可能 |
DFD-6340 | ~8インチ | 6~8インチ | 3台 |
DFD651
DFD6340
パッド変色防止
一部の機種で界面活性剤を使用し、パッド変色を防止しています。
ダイシング加工前
ダイシング加工後
界面活性剤使用
界面活性剤未使用
ダイシング加工時間が長い製品については、界面活性剤の使用をお勧めしています。