アドレス
ダイシング加工

加工スペック一覧(加工実績)

ウエハ厚み チップサイズ(MIN)
4インチ 100μm~ □ 0.400mm
5インチ 100μm~ □ 0.400mm
6インチ 100μm~ □ 0.400mm
8インチ 100μm~ □ 0.400mm

※ダイシング加工のみであれば、それ以下のサイズも対応可能です。

加工可能な形状

多様な加工にも対応致します。

長尺品

長尺品
加工可能サイズ
短辺Y 0.250mm~0.500mm
長辺X 18.000mm~29.000mm

極小品

極小品
加工可能サイズ
一辺 0.400mm~

多角形

6角形

6角形

8角形

8角形

加工可能サイズ
対辺 2.500mm

ワークサイズにより、それ以下の加工サイズも可能です。

多段加工

シングルカット

シングルカット

ステップカット

ステップカット

べベルカット

べベルカット

加工可能な素材

  • ガラス
  • ガラエポ
  • セラミック

その他の素材に関しても対応いたしますので、ご相談ください。

※化合物製品(GaAs)に関しては、環境面(排水)の問題で対応できませんのでご了承ください。

純水

お客様からお預かりしている製品を加工する際は純水を使用し、静電破壊・不純物による汚染を防止しています。

主な用途

  • 各ダイサーの洗浄水
  • スピンドル冷却水
  • ウェハー洗浄水

比抵抗規格値

1.0±0.2MΩ(0.8~1.2MΩ)

※その他、「環境への取り組み」の一環として純水のリサイクルを行っております。

装置一覧

装置名 製品対応サイズ リングサイズ 台数 備考
DFD-651 ~8インチ 6~8インチ 4台 界面活性剤使用可能
DFD-651 ~8インチ 6~8インチ 2台
DFD-6340 ~8インチ 6~8インチ 1台 界面活性剤使用可能
DFD-6340 ~8インチ 6~8インチ 3台
DFD651

DFD651

DFD6340

DFD6340

パッド変色防止

一部の機種で界面活性剤を使用し、パッド変色を防止しています。

ダイシング加工前

ダイシング加工前

ダイシング加工後

面活性剤使用

界面活性剤使用

界面活性剤未使用

界面活性剤未使用

ダイシング加工時間が長い製品については、界面活性剤の使用をお勧めしています。