ダイシング加工

加工スペック一覧(加工実績)

  4インチ 5インチ 6インチ 8インチ
ウエハ厚み 100μm~ 100μm~ 100μm~ 100μm~
チップサイズ(MIN) □ 0.400mm □ 0.400mm □ 0.400mm □ 0.400mm

ダイシング加工のみであれば、それ以下のサイズも対応可能です。

 

加工可能な形状

多様な加工にも対応致します。

長尺品、極小品、多角形(8角形、6角形)

長尺品

  加工可能サイズ
短辺Y 0.250mm~0.500mm
長辺X 18.000mm~29.000mm

 

 

 

 

極小品

  加工可能サイズ
一辺 0.400mm~

 

 

 

多角形(8角形)

  加工可能サイズ
対辺  2.500mm 
(ワークサイズにより、それ以下の加工サイズも可能です)

 

 

多角形(6角形)

  加工可能サイズ
対辺 2.500mm 
(ワークサイズにより、それ以下の加工サイズも可能です)

 

 

 

シングルカット・ステップカット・べベルカット・多段加工の多様な加工が可能です。

 

加工可能な素材

  • ガラス
  • ガラエポ
  • セラミック

その他の素材に関しても対応いたしますので、ご相談ください。

※化合物製品(GaAs)に関しては、環境面(排水)の問題で対応できませんのでご了承ください。

純水

  • 各ダイサーの洗浄水
  • スピンドル冷却水
  • ウェハー洗浄水

お客様からお預かりしている製品を加工する際は純水を使用し、静電破壊・不純物による汚染を防止しています。

比抵抗規格値 1.0±0.2MΩ(0.8~1.2MΩ)

「環境への取り組み」の一環として 純水のリサイクル を行っております。

装置一覧

フルオートダイサー【デュアル】

装置名 製品対応サイズ リングサイズ 台数 備考
DFD-651 ~8インチ 6~8インチ 4台 ※界面活性剤使用可能
DFD-651 ~8インチ 6~8インチ 4台  
DFD-6340 ~8インチ 6~8インチ 4台  

 

※一部の機種で界面活性剤を使用し、パッド変色を防止しています。

ダイシング加工時間が長い製品については、界面活性剤の使用をお勧めしています。